仪器名称:全自动型高真空电子束蒸镀膜系统
仪器型号:800*700mm,真空度8*10(-5)pa MEBE-1000
仪器类型:电子产品通用工艺实验设备
应用领域:物理学材料科学
所属单位:河北大学
仪器产地:中国
仪器价值:42万
仪器购买时间:2013-12-27
主要技术指标
800*700mm,真空度8*10-5pa
主要功能/应用范围
化合物半导体、金属材料等高温蒸镀等
服务内容
暂无
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
不共享
参考收费标准
暂无
共享仪器单位信息仪器联系人:
刘海旭
联系电话:
0312-5079560
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传 真:
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