![高真空四元化合物共蒸发系统 [型号:低压10(-6)pa,蒸发源5个30CC和1个60CC 非标（定制）]](http://www.so17.cc/d/file/2017/4dd169adf0a123a60d451a9afd9ffa4d.jpg)
仪器名称：高真空四元化合物共蒸发系统
仪器型号：低压10(-6)pa,蒸发源5个30CC和1个60CC 非标（定制）
仪器类型：半导体集成电路工艺实验设备
应用领域：物理学材料科学
所属单位：河北大学
仪器产地：中国
仪器价值：64万
仪器购买时间：2014-11-18
主要技术指标
真空度10-5Pa；衬底加热650°C；可蒸发Cu，In，Ga，S等金属元素
主要功能/应用范围
太阳能电池薄膜制备，多元共蒸发
服务内容
不共享
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
不共享
参考收费标准
暂无
共享仪器单位信息仪器联系人：
朱红兵
联系电话：
0312-5077383
电子邮箱：
传 真：
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