LED蓝宝石衬底激光切割机（LUD3120）

主要技术指标

LED蓝宝石衬底全自动超快激光切割机型号 LUD3120激光参数激光光源 皮秒激光器激光波长 红外不可见光1064nm加工性能加工尺寸范围 130mm×130mm重复定位精度 ±0.001mm定位精度 ±0.003mm切割速度 0-600mm/s主要配置运动平台 X-Y-Z-θ运动平台定位系统 同轴CCD相机自动化 自动化上下料系统整机控制系统 工控机辅助控制系统 高精度运动控制卡外部辅助装置 负压吸附抽尘系统使用环境条件电源额定电压 380V频率 50HZ相数 3相额定功率 5.5KW环境温度 15-30℃环境湿度 <50%整机尺寸 1470mm×1160mm×1800mm

主要功能/应用范围

1.全自动上下料，减少人工成本，提高生产效率；2.配备进口超快激光器，采用华工科技知识产权的激光聚焦系统，光束质量稳定，切割效果好；3.搭配光学大理石平台，高速高精度直线电机、负压吸附系统及专业切割控制软件，加工速度快，生产良率高；4.同轴CCD辅助监视系统，具备同轴成像对位功能及同轴测距功能，操作界面友好，操作效率高；

服务内容

半导体制造行业单台面玻璃钝化二极管晶圆的切割划片

服务的典型成果

半导体制造行业单台面玻璃钝化二极管晶圆的切割划片

对外开放共享规定

在合法、合理、共赢以及不影响本单位自己工艺试验的前提下，充分透明最大限度的向外界开放，争取达到设备的最大利用率。

参考收费标准

视具体情况详谈！

仪器联系人：

张瑞振

联系电话：

13315772156

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