仪器名称:共聚焦显微镜
仪器型号:VK-9710K
仪器类型:其他
应用领域:能源科学技术
所属单位:英利集团有限公司
仪器产地:中国
仪器价值:75.28万
仪器购买时间:2011-11-16
主要技术指标
高度测量:测量范围0-7mm,显示分辨率0.001μm,反复精度σ 0.012μm※2。宽度测量:显示分辨率0.001μm,反复精度3σ 0.02μm※4。
主要功能/应用范围
采用激光作为光源,由激光器发射一定波长激发光,经放大后通过扫描器内的照明针孔光栏形成点光源,成像于计算机上,计算机对所观察的对象进行数字图象处理。 (1)观察分析硅片表面、电池栅线、硅片腐蚀后缺陷等物品外观;(2)克服光学显微镜景深浅;(3)对样品大小的局限性限制小;(4)非接触式、无损伤的进行断层扫描和成像;测量栅线高宽比,检测硅片形貌。
服务内容
采用激光作为光源,由激光器发射一定波长激发光,经放大后通过扫描器内的照明针孔光栏形成点光源,成像于计算机上,计算机对所观察的对象进行数字图象处理。 (1)观察分析硅片表面、电池栅线、硅片腐蚀后缺陷等物品外观;(2)克服光学显微镜景深浅;(3)对样品大小的局限性限制小;(4)非接触式、无损伤的进行断层扫描和成像;测量栅线高宽比,检测硅片形貌。
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
对外开放共享收取一定费用
参考收费标准
每项21.82元。
共享仪器单位信息仪器联系人:
谷彦校
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