自动四探针（Model 280SI）

主要技术指标

Extra Probe head,1 each（额外探头, 1个）；Calibration set,1 each（校准单元,1套）Vacuum generator, 1 each （真空泵,1台）技术指标： 测量范围： (1) 薄层电阻（方块电阻、膜电阻）。测量范围：1mohm/sq～ 800kohm/sq ；精度:±1％/标准样片/23℃; (2) 电阻率 测量围范：10.0 μohm?cm～ 100.0 Kohm?cm 精度：±1％（或1％）/标准样片/23℃；测量重复性：标准样片 ± 0.2 %

主要功能/应用范围

测试晶体硅片的方块电阻

服务内容

测试晶体硅片的方块电阻

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

无

参考收费标准

无

仪器联系人：

田娜

联系电话：

0312-8608523

电子邮箱：

传　　真：