![激光共聚焦显微镜 [型号:OLS3100]](http://www.so17.cc/d/file/2017/3aedaee7af20f96de2dd7b684b6e33aa.jpg)
仪器名称：激光共聚焦显微镜
仪器型号：OLS3100
仪器类型：其他
应用领域：物理学
所属单位：邯郸钢铁集团有限责任公司
仪器产地：日本
仪器价值：118.6万
仪器购买时间：2009-04-01
主要技术指标
以408nm短波长半导体激光为光源，察样品表面亚μm程度（0.2μm）的三维形态和形貌，测量亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度等数据。
主要功能/应用范围
通过显微镜内高精度扫描装置对样品表面的二维扫描，获得表面显微图像，或通过显微镜高精度步进马达驱动和5nm光栅控制的聚焦装置，运用共聚焦技术（Confocal），逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标，经计算机处理,将各个焦平面的显微图象叠加,获得样品表面的三维真实形态。适用于观察样品表面亚μm程度（0.2μm）的三维形态和形貌，测量亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度等数据。
服务内容
无
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
无
参考收费标准
无
共享仪器单位信息仪器联系人：
李朝晖
联系电话：
0310-2094558
电子邮箱：
传 真：
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