![等离子体化学气相淀积系统 [型号:PECVD-1202]](http://www.so17.cc/d/file/2017/9212c4cbbe60468852f19aae19888a6b.jpg)
仪器名称：等离子体化学气相淀积系统
仪器型号：PECVD-1202
仪器类型：其他
应用领域：材料科学能源科学技术
所属单位：河北工业大学
仪器产地：中国
仪器价值：109.25万
仪器购买时间：2014-02-28
主要技术指标
反应室数量为双室，极限真空为2.0×10-5Pa（环境湿度≤55%），最大样品尺寸为φ300mm，淀积不均匀性为≤±5％（φ10吋范围内）≤±7％（φ12吋范围内）
主要功能/应用范围
本系统为计算机控制的双室PECVD系统，可制备SiO2、Si3N4、非晶硅、微晶硅等薄膜材料，两室间实现机械臂传输样品
服务内容
具体请跟机主老师联系
服务的典型成果
为校内外师生提供测试服务
对外开放共享规定
只提供送样测试服务
参考收费标准
具体请跟机主老师联系
共享仪器单位信息仪器联系人：
王娟
联系电话：
13370379239
电子邮箱：
传 真：
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