仪器名称:抛光机
仪器型号:Acpsitec E460E
仪器类型:其他仪器
应用领域:电子与通信技术
所属单位:河北工业大学
仪器产地:法国
仪器价值:252.81万
仪器购买时间:2012-10-29
主要技术指标
4-12吋,压力:1-5psi,转速:30-200rpm
主要功能/应用范围
固体表面平坦化加工
服务内容
可对4-12英寸的晶圆进行化学机械抛光,压力、转速连续可调
服务的典型成果
为校内外师生提供测试服务
对外开放共享规定
只提供送样测试服务
参考收费标准
100元每个样品
共享仪器单位信息仪器联系人:
王辰伟
联系电话:
13388039143
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传 真:
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