首页 > 共享仪器设备

低压化学气相淀积设备（定制）

2017-12-15 09:46:38

低压化学气相淀积设备 [型号:定制]

仪器名称：低压化学气相淀积设备

仪器型号：定制

仪器类型：半导体集成电路工艺实验设备

应用领域：材料科学

所属单位：河北大学

仪器产地：中国

仪器价值：48万

仪器购买时间：2013-12-13

主要技术指标

1．衬底要求：玻璃15cm×15cm2．腔体本底真空：<6×10-2Pa3．反应腔体电阻丝加热温度为300℃。 4. 抽气速率：从大气状态下开始抽气在30分钟内，系统真空度≤ 5×10-2Pa。

主要功能/应用范围

该设备能在低压的条件下生长出高透过率、高电子传导性和高雾度的氧化锌薄膜。

服务内容

暂无

服务的典型成果

暂无

对外开放共享规定

不共享

参考收费标准

暂无

共享仪器单位信息

仪器联系人：

朱红兵

联系电话：

18632210074

电子邮箱：

传　　真：

相关内容

推荐产品

最新资讯

查看更多资讯>

最新产品